Colibrys的MS9000惯性加速度传感器是一种新的超小型产品，适用于恶劣的使用环境和耐用度要求极高的应用领域。这种换代产品采用了LCC20(8.9mm x 8.9mm)陶瓷封装，具有从±2g到±250g广泛的加速度测量范围。该传感器可在较大的温度范围应用并且全使用寿命器件零位稳定保证在几mg以内。Colibrys MS9000系列是一个电容式MEMS加速度计，它是由一个立体微加工工艺支撑的硅元件，一个低功耗ASIC专用信号处理器和一个存储补偿值的微控制器以及一个温度传感器等元件组成。该产品是一个低功耗的、校准的、功能强大和性能稳定的产品，其电子配置中带有一个电源重置以防止电压不稳的全保护装置。
产品特点：
█ LCC封装 █测量范围可定制 █优异的偏差稳定性 █低模拟电压输出█高抗冲击性能 █集成温度传感器 █过电保护
应用领域
█ 惯性测量：航天；航空与制导
█ 倾斜测量：运输；仪器仪表；钻探
█ 振动测量：地震测量；数据记录仪
技术指标
参数
单位
MS9002.
MS9010
MS9030
MS9050.
MS910D.
MS9250.
全部测量范围
g
±2g
±10g
±30g
±50g
±100g
±250g
封装
零位校准
mg
<10
<50
<150
< 250
<500
<1250
零位稳定性(﹥48H)
mg typ.
<0.05
<0.25
<0.75
< 1.25
<2.25
<6.25
开/关重复性
mg max.
<0.15
<1.5
< 3.8
<7.5
<18.8
零位温度系数
mg/℃ typ.
<0.1 ±
<0.5
<2.5
<5
<12.5
mg/℃ max.
0.4
± 2
±6
±10
±20
±50
比例因子(K1)
mV/g
1000± 8
200± 2
66.6± 1
40±1
20±1
8±1
比例因子温度系数
ppm /℃ typ.
100
min./ max.
-50/250
输入轴偏心度（Kp，Ko）
mrad max.
% max
1
分辨率/阈值（@ 1Hz）
< 0.1
< 0.6
< 1.7
< 2.8
< 5.5
< 12.5
非线性度
% of FS max.
< 0.8
< 0.9
< 1
g max.
< 0.02
< 0.09
< 0.27
< 0.50
< 2.5
带宽
Hz
0～≥100
噪声谱密度[0;9kHz]
μV/√Hz typ.
18
max.
24
谐振频率
kHz
1.4
3.7
6.3
11
15
26
供电电压
VDC
2.5～5.5VDC,标准的校准电压为5.0VDC
重量
尺寸
mm
标准值14.2X14.2X3.3mm，最大值14.48X14.48X3.79mm